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西安环保《环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用》获陕西省科学技术奖一等奖

时间:2019-04-12

4月9日上午,陕西省科技创新大会暨科学技术奖励大会在西安隆重召开。西安环保参与完成的《环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用》获得陕西省科学技术奖一等奖。

《环境友好系列含氟电子气体的催化制造技术开发及应用》成果属于环境化学工程技术领域,旨在开发用于芯片、大型集成电路等制造的关键材料——电子用高纯含氟气体,包括碳酰氟、三氟碘甲烷等系列化合物,该成果为我国履行《蒙特利尔议定书》、《京都议定书》及《巴黎协定》等国际公约提供了核心技术支持。目前,产品已被Intel公司、三星公司、Saval公司以及Casio株式会社等国际知名公司所使用。

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